‘세라믹 나노복합체’
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  • 재료연, 세라믹 나노복합체 반도체 공정기술 개발

    재료연, 세라믹 나노복합체 반도체 공정기술 개발

    과학기술정보통신부 산하 정부출연연구기관인 한국재료연구원(KIMS) 엔지니어링세라믹연구실 마호진·박영조 박사 연구팀이 반도체 제조 장비 내부의 오염 입자를 줄이는 내플라즈마성 세라

    중앙일보

    2023.03.22 15:15